流量量程达1000L/min，压力达500psi，可跟踪的NIST

GFC 系列气体质量流量控制器结合一个直线管状传感器和一个限制流体分子的控制器来提供高精度和重复性。气体质量流量控制器利用一个电磁阀和PID电子件保持对传感器测量到的信号的控制来确定适当的流量比率。设置点能够通过现场电位器或通过一个远程的0到5VDC或4到20mA模拟信号来进行调整。流量比率是虚拟化的不受温度和压力变化的影响。实际流量将以工程单位显示在3位数字，90°旋转的液晶显示屏上。本系列可以与GFT系列流量累计器一起以用于需要测定流量累计的场合。GFC系列产品包括一份NIST跟踪记录证书。

规格

介质：与接液部件兼容的清洁气体

接液材质： GFC-1XXX: 阳极氧化铝, 铜, 316不锈钢 和Viton® O型密封圈;

GFC-2XXX: 316不锈钢 和Viton® O型密封圈

精度： 满量程时±1.5%包括线性以上59-77°F (5-25°C) 和5-60psia (0.35-4bar)

重复性： 满量程的±0.5%

反应时间： 实际流量的±2%以内是2秒

输出： 线性0-5VDC和4-20mA

最大微粒尺寸： 5微米

工作温度： 32-122°F (0-50°C)

电源： ±12VDC

过程连接： 流速≤50L/m压缩接头是1/4 英寸；100和200L/m是3/8英寸；500L/m是1/2英寸；1000L/m是3/4英寸

压力范围： 500psig(34.5bar)

泄漏率： 氦气的1 x 10^-7 sccs

显示器： 90°可倾斜，3-1/2数字

认证： CE

型号

流量范围流量控制器铝不锈钢 0-10 SCCM GFC-1101 GFC-2101 0-20 SCCM GFC-1102 GFC-2102 0-50 SCCM GFC-1103 GFC-2103 0-100 SCCM GFC-1104 GFC-2104 0-200 SCCM GFC-1105 GFC-2105 0-500 SCCM GFC-1106 GFC-2106 0-1 L/min GFC-1107 GFC-2107 0-2 L/min GFC-1108 GFC-2108 0-5 L/min GFC-1109 GFC-2109 0-15 L/min GFC-1111 GFC-2111 0-30 L/min GFC-1131 GFC-2131 0-50 L/min GFC-1133 GFC-2133 0-100 L/min GFC-1142 GFC-2142 0-200 L/min GFC-1143 GFC-2143 0-500 L/min GFC-1144 GFC-2144 0-1000 L/min GFC-1145 GFC-2145

流量量程是相当于氮气在70°F (21°C) @ 760 毫米汞柱的条件下设定的